SZT-2A 四探針測試儀
1.主機采用世界先的先進電路設計,所測數值更精、更快、更準(一代為傳統式電路,缺點:體積大,速度慢,元器件繁多導致影響機器壽命)。
2.屏幕采用液晶顯示(一代為只有數碼管顯示),手自一體(自動是標配,手動手持是自選)。
3.匹配電腦接口及軟件(有232接口和USB兩種接口),讓操作簡便明了化(可直接連接電腦,電腦進行自動運算根據輸入指定厚度,自動比照并修正系數,使被測結果更精確,數據可儲藏或刪除,利于使用方保存記錄)。
4.二代的測試架采用自動傳感裝置,接近被測物體時實行自動減速,避免了被測物體的損耗和探頭的磨損(先于國內市場上任何一款同類產品的測試架,老一代為手動)。
5. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時,標準系數為隨選擇鍵自動運算,無需另外手工調整,省去了原儀器的諸多麻煩。
6.本儀器的大分辨率為0.1mΩ。
7.測試探頭為鎢針,市場上多為高速鋼針。
8.每次測量均有內置計算機自動進行溫度補償及電壓電流矯正。
9.整機測量標準不確定度:≤ 2%(國內其它廠家誤差為≤ 5% )
10. 技術參數:
1). 測量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω
方塊電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
2). 可測半導體材料尺寸
直徑:5mm-130cm
長度:≤400mm
如果使用手持探針,尺寸范圍可以延伸
3). 測量方法:
軸向、斷面均可
4). 顯示方式:41/2,數顯,極性、過載自動顯示,小數點、單位自動顯示。
5). 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數±1個字
6).四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7).電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
10.SZT-2A 四探針測試儀器的價格為16800元/套和21800元/套 兩種
21800元/套 為帶電腦接口 <接口功能為當硅片的厚度<1mm時自動修正讀數,使得測量出的數據準確率為100%,被測試的數據自動生成表格并可以打印,可以隨時保存和刪除