五路浮子供氣系統 MXGQ-5F 
主要特點：
本供氣系統適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其是方便兩種氣體切換使用，而不會造成大氣進入加熱爐管。 氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。 每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。 顯示流量準確，可有效地控制氣體消耗量。 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。
工作原理： 由氣體鋼瓶輸入兩種氣體，形成A，B兩種組份，經過減壓閥減壓，輸出所需流量的氣體，再通過調節每一組分的體積流量，輸出預定比例關系的混合氣體，達到加熱爐所需求得氣氛。兩個連接頭可連接二只氣體鋼瓶，如：H2/AR，H2/N2，O2/N2等。 嚴禁氫氣和氧氣同時供氣，保證安全。 將供氣系統進口的兩個連接頭直接連接到15MPa的供氣鋼瓶上，選擇連接好兩種氣體，按順序開啟供氣鋼瓶上閥門、配比器上對應高壓截止閥及三只流量計旋鈕，再旋轉減壓閥旋鈕增大氣體壓力，調節兩種氣體流量，輸出所需要的壓力和流量。 本供氣（混氣）系統可用于多種氣體單一/混合連續供氣系統，尤其方便多種氣體的切換混合使用；氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，操作方便；每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全可靠！本系統廣泛用于CVD供氣系統，氣體保護燒結，氣體保護退火等。 這種氣路控制系統適用于控制兩種氣體的通入，管式爐可以放在它上面，結合微行爐業的管式爐，它可以用于CVD系統及退火爐，用來研究氣體環境對材料的影響。 上海雙旭 |
