型號:FM-CVD 系列 本裝置用2.45GHz微波激發(fā)Φ50mm石英管腔內(nèi)的稀薄氣體,產(chǎn)生穩(wěn)態(tài)等離子球,除了開設(shè)等離子體基本知識技能實(shí)驗(yàn)課之外,還可完成等離子體化學(xué)沉積、等離子體氣相刻蝕等實(shí)驗(yàn),用以制備金剛石膜或其它多種功能薄膜,或制備小臨界尺寸超大規(guī)模集成電路。本裝置是由微波、真空及供氣、水冷等3個獨(dú)立系統(tǒng)協(xié)調(diào)匹配而成的,適用于大學(xué)物理、化學(xué)、材料等學(xué)科的學(xué)生實(shí)驗(yàn)和教師科研。 尺度:1.4×1.5×0.6m3;重量:100kg ¥2052.00 ¥6800.00 ¥10000.00
¥1480.00 ¥3380.00 ¥1950.00
,AR600E,AR-600E,D520/7DDZWRN-122BSR351-RN2 DL Q24D2H-10 YB3266ASBWZ-2470/64SD, DF3-10WZP2-24SA,PL-05N2,HT-629 Q23D2A-L10,JAG-5H,CM8821QJ57,WRR-131BFMQJ42,HBPLC-3226SR551-CM DK,E2E-X10MY2,E3JM-R4P2,WZPN230,NK-10FMBc,AWA6063A,Q25D2A-L12SR551-PM DSBWR-4170/8413KDSR361-RS3 R BDF-50WRN-420AB,E3F-R2P2,AR904,AR-904,YB02-1SR540-CS2 DW,LX-A,LJ2L-15-4/221BX7,Q35D2I-L10http://www.63504668.com http://www.yqybzhan.com http://www.jsbyb.com http://www.shwjzdh.com http://www.oneyb.com http://www.ttyssy.com http://www.591718.com http://www.shuangxu.net http://www.shanghaiyiqi.com http://www.shuangxudianzi.com http://www.yqybjyw.com http://www.63504668.cn http://www.shanghaiybw.com http://www.591718.cn http://www.591718.net |