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| 產(chǎn)品名稱： |
石英管式微波等離子體裝置 FM-CVD7 |
| 產(chǎn)品型號： |
FM-CVD7 |
| 產(chǎn)品報價： |
110000 |
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產(chǎn)品詳細(xì)：
型號：FM-CVD 系列
本裝置用2.45GHz微波激發(fā)Φ50mm石英管腔內(nèi)的稀薄氣體，產(chǎn)生穩(wěn)態(tài)等離子球，除了開設(shè)等離子體基本知識技能實(shí)驗(yàn)課之外，還可完成等離子體化學(xué)沉積、等離子體氣相刻蝕等實(shí)驗(yàn)，用以制備金剛石膜或其它多種功能薄膜，或制備小臨界尺寸超大規(guī)模集成電路。本裝置是由微波、真空及供氣、水冷等3個獨(dú)立系統(tǒng)協(xié)調(diào)匹配而成的，適用于大學(xué)物理、化學(xué)、材料等學(xué)科的學(xué)生實(shí)驗(yàn)和教師科研。
尺度:1.4×1.5×0.6m3;重量：100kg FMBdSBWR-2184/240KD,()HCC-16,YB-4320BWZPK-174U,WZPK-326U,AR872,SD-3020CWZC-220AB，WRE2-230BWZPK-236S,LJ8A3-1-Z/BYWRN-230BWZPK-223USBWZ-4480/24SD,YB4330,E3JK-DS30P1SR551-PS3 DLSR361-DN3 DK,D500/11DSR530-EM DW,JKD-2,LJIA-24 BQY24D2-15WRE-330-F，,PR08-1.5DN2 WRET-01，DT2234B,AR872A,UT15A, TT100A 2S-40MT150CM-8820,LJ8A3-1-Z/AX,QY24DH-15,QJ42SM-5000，WZPK-363U K23JD-40W AC5010-10WRR-121,HN-500SBWZ-4484/24SDSBWR-2284/440DWZP2-421B，ZX32WRNN2-130,KT-50,PS30-10DP2,DJM1615-87E3JK-R4N1SL-5816TT230WRE-001 AW30-03ETES-1371SR551-ES2 DWWRP-131BHG-2 YB4805KPT1-12-30 T120AWZP2-2212APR18-8ND2WRE-621TCO-3040LA AW30-02DESNO5-PWZPK-565SGDK-3-R6Y2ND9AWZPK-166SSBWR-2280E3F-DS10Y1SR561-DM DKGDK-3-R6M2 YB1051LSF FMT22DYM-3SBWR-2180/640DWZP-631VKC3OOM K25JD-25W ZQDF-80JWK-D10PWZPK-235SPC36B 4BBSBWZ-2480/4E3K55-R4N1SR561-RN3 DWRX7/3SN04-Y AC40A-04ESC2-2025AB DF(ZCS)-50WZPM-0110 FM-6SBWR-4170/240DRLC FM11XQ231540 YB4810A 實(shí)驗(yàn)儀器裝置 |
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